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bob多特蒙德体育app:纳米器件课题组在铪基铁电薄膜研究方面取得新进展

添加时间:2021-11-04 09:47:18  浏览次数: 次

  近期,bob多特蒙德体育app纳米器件课题组在铪基铁电薄膜研究方面取得新进展,相关研究结果“Excellent ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 thin films with ultra-thin Al2O3 serving as capping layer”发表在物理领域国际知名期刊Applied Physics Letters(2021,119,172902),硕士研究生刘炳文为论文第一作者,李玉宝教授和张威博士为通讯作者,博士研究生曹亚廷作为共同作者参与了此项工作。

 由于具有超薄铁电和与传统CMOS工艺兼容等优点,铁电Hf0.5Zr0.5O2 (HZO)薄膜在低成本、低功耗、高密度集成的非易失性铁电存储领域展现出了巨大应用潜力。在这项工作中,作者通过超薄介电薄膜(Al2O3)取代金属覆盖层的方式在10 nm厚的HZO薄膜中成功诱发了铁电性,并研究不同厚度Al2O3和不同底电极对HZO铁电性能的影响。结果表明,基于W底电极的Al2O3 (1 nm)/HZO/W电容器在±3 MV/cm电场下漏电流最。2Pr最大可达31.4 µC/cm2,同时具有优异的耐久性能(高达1010次)。该工作利用超薄Al2O3层替代金属覆盖层对于进一步简化铪基铁电存储器件的制备与集成具有重要意义。

 
       以上工作得到了河北省百人计划、河北省自然科学基金以及bob多特蒙德体育app高层次人才培育计划项目的资助与支持。
 
论文链接:
https://doi.org/10.1063/5.0064700
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